Основное заглавие: Термодинамика и материаловедение полупроводников

Ответственность: Новоселова А. В., Глазов В. М., Смирнова Н. В. и др.; Под ред. Глазова В. М.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1992

Место издания: М.

Издательство: Металлургия

Объем: 390,(1)с.

ISBN: 5-229-00512-2

Ключевые слова: Полупроводники; Термодинамика; Интегральные микросхемы

ББК: 32.843.3

Библиография: Библиогр.: с. 356-391