Автoматизация технoлoгическoгo oбoрудoвания микрoэлектрoники [Текст] : Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / Сазонов А. А. и др.; Под ред. Сазонова А. А. - М. : Высш. шк., 1991. - 333,(1)с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 332. - ISBN 5-06-000731-6



Основное заглавие: Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов

Ответственность: Сазонов А. А. и др.; Под ред. Сазонова А. А.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1991

Место издания: М.

Издательство: Высш. шк.

Объем: 333,(1)с.

ISBN: 5-06-000731-6

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Интегральные микросхемы; Автоматизация; Микроэлектроника;

ББК: 32.844.15-06я7

Библиография: Библиогр.: с. 332

2345140
 
Автoматизация технoлoгическoгo oбoрудoвания микрoэлектрoники [Текст] : Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / Сазонов А. А. и др.; Под ред. Сазонова А. А. - М. : Высш. шк., 1991. - 333,(1)с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 332. - ISBN 5-06-000731-6
ББК 32.844.15-06я7
2345140-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2345140 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера