Основное заглавие: Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники

Сведения, относящ. к заглавию: Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов

Ответственность: Сазонов А. А. и др.; Под ред. Сазонова А. А.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1991

Место издания: М.

Издательство: Высш. шк.

Объем: 333,(1)с.

ISBN: 5-06-000731-6

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Интегральные микросхемы; Автоматизация; Микроэлектроника;

ББК: 32.844.15-06я7

Библиография: Библиогр.: с. 332