Защитные пленки в прoизвoдстве пoлупрoвoдникoвых прибoрoв [Текст] : (окисел кремния, нитрид кремния, окисел алюминия) : отечественная и иностранная литература за II полугодие 1970 г. - I полугодие 1972 г. : тематический указатель литературы / М-во электрон. пром-сти СССР ; сост. Ижмякова Л. Ф., Щеглова В. В. - Москва : ОНТИТЭИ, 1972. - 190 с. - (Полупроводниковые приборы).
Пoдробнее