Основное заглавие: Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов

Сведения, относящ. к заглавию: (окисел кремния, нитрид кремния, окисел алюминия) : отечественная и иностранная литература за II полугодие 1970 г. - I полугодие 1972 г. : тематический указатель литературы

Ответственность: М-во электрон. пром-сти СССР ; сост. Ижмякова Л. Ф., Щеглова В. В.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1972

Место издания: Москва

Издательство: ОНТИТЭИ

Объем: 190 с.

Серия: Полупроводниковые приборы

Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Защитные пленки

ББК: 91.9:32.85+32.852-06