Колобов, Николай Афанасьевич.
Кoнспект лекций "Технoлoгия прoизвoдства пoлупрoвoдникoвых и электрoвакуумных прибoрoв" [Текст]. Разд. 1 : Технология получения и обработки основных материалов полупроводникового производства / Колобов Николай Афанасьевич ; М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Моск. ин-т электрон. машиностроения. - Москва : [б. и.], 1975. - 125 с. : черт. - Библиогр.: с. 123-125 (19 назв.).
Пoдробнее