Автор: Антонов Владимир Александрович

Основное заглавие: Технология производства электровакуумных и полупроводниковых приборов

Сведения, относящ. к заглавию: [учеб. пособие для вузов по спец. "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение"]

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1979

Место издания: М.

Издательство: Высш. шк.

Объем: 368 с.

Ключевые слова: Электровакуумные приборы; Полупроводниковые приборы; Производство;

ББК: 32.851-06я7+32.852-06я7

Библиография: Библиогр.: с. 365 с.