Чистяков, Юрий Дмитриевич.
Физикo-химические oснoвы технoлoгии микрoэлектрoники : [учебное пособие для вузов по специальностям "Полупроводники и диэлектрики", "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы" и "Технология специальных материалов электронной техники"] / Чистяков Юрий Дмитриевич - Москва : Металлургия, 1979. - 408 с. - Библиогр.: с. 400-403. - Предм. указ.: с. 404-405.
Пoдробнее