Автор: Чистяков Юрий Дмитриевич
Другие авторы: Райнова Юлия Петровна
Основное заглавие: Физико-химические основы технологии микроэлектроники
Сведения, относящ. к заглавию: [учебное пособие для вузов по специальностям "Полупроводники и диэлектрики", "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы" и "Технология специальных материалов электронной техники"]
Год публикации: 1979
Место издания: Москва
Издательство: Металлургия
Объем: 408 с.
Ключевые слова: Микроэлектроника; Физико-химические основы
ББК: 32.844.1-06
Библиография: Библиогр.: с. 400-403. - Предм. указ.: с. 404-405
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.