Автор: Чистяков Юрий Дмитриевич
Другие авторы: Райнова Юлия Петровна
Основное заглавие: Физико-химические основы технологии микроэлектроники
Сведения, относящ. к заглавию: [учебное пособие для вузов по специальностям "Полупроводники и диэлектрики", "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы" и "Технология специальных материалов электронной техники"]
Год публикации: 1979
Место издания: Москва
Издательство: Металлургия
Объем: 408 с.
Ключевые слова: Микроэлектроника; Физико-химические основы;
ББК: 32.844.1-06
Библиография: Библиогр.: с. 400-403. - Предм. указ.: с. 404-405
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 1919894 | кх | Доступна | - |