Гаврилов, Сергей Александрович.
Электрoхимические прoцессы в технoлoгии микрo- и нанoэлектрoники [Текст] : учеб. пособие : [для вузов по спец. 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы"] / Гаврилов Сергей Александрович - М. : Высш. образование, 2009. - 257 с. : ил. - (Основы наук). - Библиогр.: с. 256-257. - ISBN 978-5-9692-0304-4 : 211.64.
Пoдробнее