Автор: Гаврилов Сергей Александрович

Другие авторы: Белов А. Н.

Основное заглавие: Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники

Сведения, относящ. к заглавию: учеб. пособие : [для вузов по спец. 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы"]

Физический носитель: Текст

Год публикации: 2009

Место издания: М.

Издательство: Высш. образование

Объем: 257 с.

ISBN: 978-5-9692-0304-4

Cерия: Основы наук

Ключевые слова: Электрохимические процессы; Микроэлектроника; Наноэлектроника; Наноструктуры;

ББК: 32.844.1-06

Библиография: Библиогр.: с. 256-257