Автор: Киппер Роберт Иванович
Другие авторы: Попков О. И.
Основное заглавие: Инженерная микроэлектроника
Сведения, относящ. к заглавию: физические основы процессов производства интегральных микросхем: учебное пособие
Ответственность: Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1979
Место издания: Ленинград
Издательство: ЛЭТИ
Объем: 61 с.
Ключевые слова: Микроэлектроника; Интегральные микросхемы
ББК: 32.844.15-06я7
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.