Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники [Текст]. Вып. 37 : СВЧ и измерительная техника в микроэлектронике - Москва : [б. и.], 1978. - 262 с. : ил.

Основное заглавие: Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники

Физический носитель: Текст

Название части / раздела: СВЧ и измерительная техника в микроэлектронике

Год публикации: 1978

Место издания: Москва

Издательство: [б. и.]

Объем: 262 с.

Ключевые слова: Микроэлектроника; Измерительная техника; Сверхвысокие частоты

ББК: 32.844.1я54