Основное заглавие: Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники

Физический носитель: Текст

Название части / раздела: Физические и технологические особенности полупроводниковых схем памяти

Год публикации: 1977

Место издания: Москва

Издательство: [б. и.]

Объем: 126 с.

Ключевые слова: Микроэлектроника; Полупроводниковые схемы;

ББК: 32.844.1я54