Основное заглавие: Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники

Ответственность: Моск. ин-т электрон. техники

Физический носитель: Текст

Название части / раздела: (Полупроводниковые приборы и интегральные схемы)

Год публикации: 1976

Место издания: Москва

Издательство: [б. и.]

Объем: 236 с.

Ключевые слова: Микроэлектроника; Полупроводниковые приборы; Интегральные схемы;

ББК: 32.844.1я54

Библиография: Библиогр. в конце работ