Основное заглавие: Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы

Сведения, относящ. к заглавию: сборник статей

Ответственность: пер. с англ. под ред. Вавилова В. С.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1980

Место издания: Москва

Издательство: Мир

Объем: 331 с.

Cерия: Новости физики твердого тела

Ключевые слова: Ионы; Твердые тела; Поверхности; Взаимодействия (физ.);

ББК: 22.379.231

Библиография: Библиогр. в конце ст.