Автор: Каверзнев Владимир Александрович

Другие авторы: Зайцев Анатолий Александрович; Овечкин Юрий Алексеевич

Основное заглавие: Статическое электричество в полупроводниковой промышленности

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1975

Место издания: Москва

Издательство: Энергия

Объем: 113 с.

Ключевые слова: Статическое электричество; Полупроводниковые приборы;

ББК: 32.852-01

Библиография: Список лит.: с. 110-112 (58 назв.)