Автор: Каверзнев Владимир Александрович
Другие авторы: Зайцев Анатолий Александрович; Овечкин Юрий Алексеевич
Основное заглавие: Статическое электричество в полупроводниковой промышленности
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1975
Место издания: Москва
Издательство: Энергия
Объем: 113 с.
Ключевые слова: Статическое электричество; Полупроводниковые приборы
ББК: 32.852-01
Библиография: Список лит.: с. 110-112 (58 назв.)
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.