Импульсный oтжиг пoлупрoвoдникoвых материалoв [Текст] / Двуреченский А. В. [и др.] ; отв. ред. Ржанов А. В. ; Акад. наук СССР [и др.]. - Москва : Наука, 1982. - 208 с. : ил. - Библиогр. в конце глав.



Основное заглавие: Импульсный отжиг полупроводниковых материалов

Ответственность: Двуреченский А. В. [и др.] ; отв. ред. Ржанов А. В. ; Акад. наук СССР [и др.]

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1982

Место издания: Москва

Издательство: Наука

Объем: 208 с.

Ключевые слова: Полупроводниковые материалы; Ионное легирование;

ББК: 32.843.3-06

Библиография: Библиогр. в конце глав

2026156
 
Импульсный oтжиг пoлупрoвoдникoвых материалoв [Текст] / Двуреченский А. В. [и др.] ; отв. ред. Ржанов А. В. ; Акад. наук СССР [и др.]. - Москва : Наука, 1982. - 208 с. : ил. - Библиогр. в конце глав.
ББК 32.843.3-06
2026156-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2026156 кх Доступна -