Основное заглавие: Проблемы микроэлектронной технологии

Ответственность: Отв. ред. Орликовский А. А.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1994

Место издания: М.

Издательство: Наука

Объем: 126,[2]с.

ISBN: 5-02-007030-0

Cерия: Труды Физико-технологического института

Ключевые слова: Микроэлектроника; Плазма; Молекулярно-пучковая эпитаксия; Микроэлектронная аппаратура;

ББК: 32.844.1-06

Библиография: Библиогр. в конце ст.