Прoблемы микрoэлектрoннoй технoлoгии [Текст] / Отв. ред. Орликовский А. А. - М. : Наука, 1994. - 126,[2]с. : ил. ; 24 см. - (Труды Физико-технологического института ; Т. 8). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-007030-0 : 900.00.



Основное заглавие: Проблемы микроэлектронной технологии

Ответственность: Отв. ред. Орликовский А. А.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1994

Место издания: М.

Издательство: Наука

Объем: 126,[2]с.

ISBN: 5-02-007030-0

Cерия: Труды Физико-технологического института

Ключевые слова: Микроэлектроника; Плазма; Молекулярно-пучковая эпитаксия; Микроэлектронная аппаратура;

ББК: 32.844.1-06

Библиография: Библиогр. в конце ст.

2407916
 
Прoблемы микрoэлектрoннoй технoлoгии [Текст] / Отв. ред. Орликовский А. А. - М. : Наука, 1994. - 126,[2]с. : ил. ; 24 см. - (Труды Физико-технологического института ; Т. 8). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-007030-0 : 900.00.
ББК 32.844.1-06
2407916-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2407916 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера