Основное заглавие: Проблемы микроэлектронной технологии

Ответственность: Отв. ред. Великов Л. В.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1994

Место издания: М.

Издательство: Наука

Объем: 75,[3]с.

ISBN: 5-02-007019-X

Cерия: Труды Физико-технологического института

Ключевые слова: Микроэлектронная аппаратура; Микроэлектроника;

ББК: 32.844.1-06

Библиография: Библиогр. в конце ст.