Автор: Крапухин Всеволод Валерьевич

Другие авторы: Соколов И. А.; Кузнецов Г. Д.

Основное заглавие: Технология материалов электронной техники

Сведения, относящ. к заглавию: Теория процессов полупроводниковой технологии: Учеб. для вузов по направлению "Электроника и микроэлектроника" и др.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1995

Место издания: М.

Издательство: МИСИС

Объем: 495с.

ISBN: 5-87623-004-9

Ключевые слова: Полупроводники; Электронная техника;

ББК: 32.843.3-06

Библиография: Библиогр.: с. 490-492