Ефимов, Иван Ефимович.
Микроэлектроника [Текст] : физические и технологические основы, надежность : [учебное пособие для вузов] / Ефимов Иван Ефимович, Горбунов Юрий Иванович, Козырь Иван Яковлевич - Москва : Высшая школа, 1977. - 416 с. : ил. - Список лит.: с. 412-414.

Автор: Ефимов Иван Ефимович

Другие авторы: Горбунов Юрий Иванович; Козырь Иван Яковлевич

Основное заглавие: Микроэлектроника

Сведения, относящ. к заглавию: физические и технологические основы, надежность : [учебное пособие для вузов]

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1977

Место издания: Москва

Издательство: Высшая школа

Объем: 416 с.

Ключевые слова: Микроэлектроника

ББК: 32.844.1я7

Библиография: Список лит.: с. 412-414