Основное заглавие: Диагностика приповерхностного слоя и управление его свойствами

Сведения, относящ. к заглавию: актуальные вопросы физ. электрон. : сборник научных трудов

Ответственность: редкол.: Васильев Ю. С. (отв. ред.) [и др.]

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1983

Место издания: Ленинград

Издательство: ЛПИ

Объем: 97 с.

Cерия: Труды Ленинградского политехнического института им. М. И. Калинина

Ключевые слова: Поверхностные слои; Спектроскопические исследования;

ББК: 22.344

Библиография: Библиогр. в конце ст.