Данилин, Борис Степанович. 
Пoлучение тoнкoпленoчных элементoв микрoсхем [Текст] / Данилин Борис Степанович - Москва : Энергия, 1977. - 136 с. : ил. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры ; вып. 10). - Библиогр.: с. 128-134.



Автор: Данилин Борис Степанович

Основное заглавие: Получение тонкопленочных элементов микросхем

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1977

Место издания: Москва

Издательство: Энергия

Объем: 136 с.

Cерия: Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры

Ключевые слова: Пленочные микросхемы; Производство; Тонкие пленки; Вакуум;

ББК: 32.844.13

Библиография: Библиогр.: с. 128-134

1789093
Данилин, Борис Степанович. 
Пoлучение тoнкoпленoчных элементoв микрoсхем [Текст] / Данилин Борис Степанович - Москва : Энергия, 1977. - 136 с. : ил. - (Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры ; вып. 10). - Библиогр.: с. 128-134.
ББК 32.844.13
1789093-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 1789093 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера