Автор: Данилин Борис Степанович

Основное заглавие: Получение тонкопленочных элементов микросхем

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1977

Место издания: Москва

Издательство: Энергия

Объем: 136 с.

Cерия: Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры

Ключевые слова: Пленочные микросхемы; Производство; Тонкие пленки; Вакуум;

ББК: 32.844.13

Библиография: Библиогр.: с. 128-134