Автор: Данилин Борис Степанович
Другие авторы: Сырчин Владимир Кимович
Основное заглавие: Магнетронные распылительные системы
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1982
Место издания: Москва
Издательство: Радио и связь
Объем: 73 с.
Ключевые слова: Тонкие пленки
ББК: 32.843.3-06
Библиография: Библиогр.: с. 69-72
Находится: СОУНБ
Сведения об экземплярах, инвентарных номерах и статусе выдачи поступают из АБИС и появятся на карточке после подключения к ней. Заказ издания из фонда — на следующем этапе каталога.