Автор: Данилин Борис Степанович
Другие авторы: Киреев Валерий Юрьевич
Основное заглавие: Ионное травление микроструктур
Физический носитель: Текст
Год публикации: 1979
Место издания: Москва
Издательство: Советское радио
Объем: 103 с.
Cерия: Массовая библиотека инженера
Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы; Производство;
ББК: 32.844.15-06
Библиография: Библиогр. : с. 95-102
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 1914510 | кх | Доступна | - |