Автор: Вишняков Борис Александрович

Другие авторы: Осипов Кирилл Афанасьевич

Основное заглавие: Электронно-лучевой метод получения тонких пленок из химических соединений

Ответственность: АН СССР, Ин-т металлургии им. А. А. Байкова

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1970

Место издания: Москва

Издательство: Наука

Объем: 144 с.

Ключевые слова: Тонкие пленки; Электронно-лучевая обработка;

ББК: 31.234.16

Библиография: Библиогр.: с. 136-142