Введение в фoтoлитoграфию [Текст] / Боков Ю. С., Корсаков В. С., Лаврищев В. П. [и др.] ; под ред. Лаврищева В. П. - Москва : Энергия, 1977. - 400 с. : ил. - Библиогр.: с. 379-397.



Основное заглавие: Введение в фотолитографию

Ответственность: Боков Ю. С., Корсаков В. С., Лаврищев В. П. [и др.] ; под ред. Лаврищева В. П.

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1977

Место издания: Москва

Издательство: Энергия

Объем: 400 с.

Ключевые слова: Фотолитография; Полупроводниковые приборы; Производство;

ББК: 32.844.15-06+37.831

Библиография: Библиогр.: с. 379-397

1789279
 
Введение в фoтoлитoграфию [Текст] / Боков Ю. С., Корсаков В. С., Лаврищев В. П. [и др.] ; под ред. Лаврищева В. П. - Москва : Энергия, 1977. - 400 с. : ил. - Библиогр.: с. 379-397.
ББК 32.844.15-06+37.831
1789279-кх; 1786426-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 1789279 кх Доступна -
2 1786426 кх Доступна -