Васичев, Борис Никитович. 
Электрoнoлитoграфия [Текст] / Васичев Борис Никитович - Москва : Знание, 1982. - 64 с. : ил. - (Новое в жизни, науке, технике. Радиоэлектроника и связь ; 8). - Библиогр.: с. 64.



Автор: Васичев Борис Никитович

Основное заглавие: Электронолитография

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1982

Место издания: Москва

Издательство: Знание

Объем: 64 с.

Cерия: Новое в жизни, науке, технике

Ключевые слова: Фотолитография; Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы; Производство;

ББК: 32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 64

2021679
Васичев, Борис Никитович. 
Электрoнoлитoграфия [Текст] / Васичев Борис Никитович - Москва : Знание, 1982. - 64 с. : ил. - (Новое в жизни, науке, технике. Радиоэлектроника и связь ; 8). - Библиогр.: с. 64.
ББК 32.844.15-06
2021679-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2021679 кх Доступна -