Автор: Вершинин Олег Емельянович

Основное заглавие: Автоматизация технологических процессов производства микроэлектронной аппаратуры

Сведения, относящ. к заглавию: учебное пособие

Ответственность: Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)

Физический носитель: Текст

Год публикации: 1978

Место издания: Ленинград

Издательство: ЛЭТИ

Объем: 78 с.

Ключевые слова: Радиоэлектроника; Радиоэлектронная аппаратура; Цифровые вычислительные машины; Интегральные микросхемы; Автоматизация;

ББК: 32.844.1-06+32.973.26я7