Основное заглавие: Технологические процессы и оборудование, используемые в производстве микросхем

Сведения, относящ. к заглавию: учебное пособие

Ответственность: [Игнатьев В. В., Дикушин В. В., Сербинов Д. Н. и др.] ; под ред. В. В. Игнатьева ; Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)

Физический носитель: текст

Год публикации: 1977

Место издания: Ленинград

Издательство: ЛЭТИ

Объем: 89 с.

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы; Производство;

ББК: 32.844.15-06я7

Библиография: Список лит.: с. 88 (7 назв.)