Основное заглавие: Технические требования на особо чистые вещества для полупроводниковой техники
Физический носитель: текст
Год публикации: 1959
Место издания: Москва
Издательство: [б. и.]
Объем: 60 с.
Ключевые слова: Полупроводниковая техника;
ББК: 32.852
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 950673 | кх | Доступна | - |