Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике — Самарская областная универсальная научная библиотека

Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике [текст] - Ленинград : Наука, Ленинградское отделение, 1972. - 114 с. : черт. - На обороте тит. л. авт.: А. И. Борисенко, В. В. Новиков, Н. Е. Прихидько и др. - Список лит.: с. 107-113 (108 назв.).

Основное заглавие: Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике

Физический носитель: текст

Год публикации: 1972

Место издания: Ленинград

Издательство: Наука, Ленинградское отделение

Объем: 114 с.

Примечание: На обороте тит. л. авт.: А. И. Борисенко, В. В. Новиков, Н. Е. Прихидько и др.

Ключевые слова: Тонкие пленки; Пленки; Электронные схемы; Интегральные схемы; Производство

ББК: 32.844.13

Библиография: Список лит.: с. 107-113 (108 назв.)