Основное заглавие: Толстопленочная микроэлектроника

Ответственность: [В. Г. Гребенкина, В. С. Доброер, Л. И. Панов, Ю. П. Тризна ; отв. ред. Ю. М. Горячев] ; АН УССР, Ин-т пробл. материаловедения

Физический носитель: текст

Год публикации: 1983

Место издания: Киев

Издательство: Наукова думка

Объем: 247 с.

Примечание: Авт. указаны на обороте тит. л.

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Пленочные материалы;

ББК: 32.844.13

Библиография: Библиогр.: с. 241-245 (130 назв.)