Основное заглавие: Рост полупроводниковых кристаллов и пленок

Сведения, относящ. к заглавию: [материалы конференции, июнь 1982 г.]

Ответственность: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии

Физический носитель: текст

Название части / раздела: Молекулярная, лазерная эпитаксия. Распределение примесей и дефектов

Год публикации: 1984

Место издания: Новосибирск

Издательство: Наука, Сибирское отделение

Объем: 157 с.

Ключевые слова: Полупроводники; Кристаллы; Рост; Полупроводниковые пленки;

ББК: 22.375.14

Библиография: Библиогр. в конце докл.