Одиноков, Вадим Васильевич. 
Шлюзoвые системы в вакуумнoм oбoрудoвании [текст] : [учебное пособие] / Одиноков Вадим Васильевич - Москва : Высшая школа, 1981. - 55 с. : ил. - (Профтехобразование. Вакуумная техника). - Библиогр.: с. 54 (9 назв.).



Автор: Одиноков Вадим Васильевич

Основное заглавие: Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании

Сведения, относящ. к заглавию: [учебное пособие]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1981

Место издания: Москва

Издательство: Высшая школа

Объем: 55 с.

Cерия: Профтехобразование

Ключевые слова: Вакуумное оборудование; Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы; Производство; Вакуум;

ББК: 32.844.15-06я7

Библиография: Библиогр.: с. 54 (9 назв.)

2010136
Одиноков, Вадим Васильевич. 
Шлюзoвые системы в вакуумнoм oбoрудoвании [текст] : [учебное пособие] / Одиноков Вадим Васильевич - Москва : Высшая школа, 1981. - 55 с. : ил. - (Профтехобразование. Вакуумная техника). - Библиогр.: с. 54 (9 назв.).
ББК 32.844.15-06я7
2010136-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2010136 кх Доступна -