Риссел, Х. 
Иoнная имплантация [текст] / Риссел Х. ; пер. с нем. В. В. Климова, В. Н. Пальянова ; под ред. М. И. Гусевой. - Москва : Наука, 1983. - 360 с. : ил. - Библиогр.: с. 345-360.



Автор: Риссел Х.

Другие авторы: Руге И.

Основное заглавие: Ионная имплантация

Ответственность: пер. с нем. В. В. Климова, В. Н. Пальянова ; под ред. М. И. Гусевой

Физический носитель: текст

Год публикации: 1983

Место издания: Москва

Издательство: Наука

Объем: 360 с.

Ключевые слова: Полупроводники; Ионное легирование;

ББК: 22.379.2

Библиография: Библиогр.: с. 345-360

2087551
Риссел, Х. 
Иoнная имплантация [текст] / Риссел Х. ; пер. с нем. В. В. Климова, В. Н. Пальянова ; под ред. М. И. Гусевой. - Москва : Наука, 1983. - 360 с. : ил. - Библиогр.: с. 345-360.
ББК 22.379.2
2087551-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 2087551 кх Доступна -