Технoлoгия и аппаратура газoвoй эпитаксии кремния и германия [текст] / [И. М. Скворцов, И. И. Лапидус, Б. В. Орион и др.]. - Москва : Энергия, 1978. - 135 с. : ил. - Список лит.: с. 129-134 (113 назв.).



Основное заглавие: Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия

Ответственность: [И. М. Скворцов, И. И. Лапидус, Б. В. Орион и др.]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1978

Место издания: Москва

Издательство: Энергия

Объем: 135 с.

Ключевые слова: Полупроводниковые соединения; Получение;

ББК: 32.843.3-06

Библиография: Список лит.: с. 129-134 (113 назв.)

1861361
 
Технoлoгия и аппаратура газoвoй эпитаксии кремния и германия [текст] / [И. М. Скворцов, И. И. Лапидус, Б. В. Орион и др.]. - Москва : Энергия, 1978. - 135 с. : ил. - Список лит.: с. 129-134 (113 назв.).
ББК 32.843.3-06
1861361-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 1861361 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера