Автор: Таиров Юрий Михайлович

Другие авторы: Цветков Валерий Федорович

Основное заглавие: Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов

Сведения, относящ. к заглавию: [учебник для вузов по специальностям "Полупроводники и диэлектрики", "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы"]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1983

Место издания: Москва

Издательство: Высшая школа

Объем: 272 с.

Ключевые слова: Полупроводники; Производство; Диэлектрики;

ББК: 32.843.3-06+32.843.413я7

Библиография: Библиогр.: с. 265-266 (33 назв.); Предм. указ.: с. 267-269