Таблицы параметрoв прoстранственнoгo распределения иoннoимплантирoванных примесей [текст] : (теория, метод расчета, таблицы) / [А. Ф. Буренков, Ф. Ф. Комаров, М. А. Кумахов, М. М. Темкин]. - Минск : Изд-во БГУ, 1980. - 350 с. : ил. - Авт. указаны на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 345-348 (42 назв.); Указ. материалов: с. 349.



Основное заглавие: Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей

Сведения, относящ. к заглавию: (теория, метод расчета, таблицы)

Ответственность: [А. Ф. Буренков, Ф. Ф. Комаров, М. А. Кумахов, М. М. Темкин]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1980

Место издания: Минск

Издательство: Изд-во БГУ

Объем: 350 с.

Примечание: Авт. указаны на обороте тит. л.

Ключевые слова: Полупроводники; Ионное легирование;

ББК: 22.379.2

Библиография: Библиогр.: с. 345-348 (42 назв.); Указ. материалов: с. 349

1963536
 
Таблицы параметрoв прoстранственнoгo распределения иoннoимплантирoванных примесей [текст] : (теория, метод расчета, таблицы) / [А. Ф. Буренков, Ф. Ф. Комаров, М. А. Кумахов, М. М. Темкин]. - Минск : Изд-во БГУ, 1980. - 350 с. : ил. - Авт. указаны на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 345-348 (42 назв.); Указ. материалов: с. 349.
ББК 22.379.2
1963536-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 1963536 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера