Основное заглавие: Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей

Сведения, относящ. к заглавию: (теория, метод расчета, таблицы)

Ответственность: [А. Ф. Буренков, Ф. Ф. Комаров, М. А. Кумахов, М. М. Темкин]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1980

Место издания: Минск

Издательство: Изд-во БГУ

Объем: 350 с.

Примечание: Авт. указаны на обороте тит. л.

Ключевые слова: Полупроводники; Ионное легирование;

ББК: 22.379.2

Библиография: Библиогр.: с. 345-348 (42 назв.); Указ. материалов: с. 349