Автор: Сысоев Валерий Васильевич
Основное заглавие: Автоматизированное проектирование линий и комплектов оборудования полупроводникового и микроэлектронного производства
Физический носитель: текст
Год публикации: 1982
Место издания: Москва
Издательство: Радио и связь
Объем: 119 с.
Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Производство; Оборудование; Проектирование; Автоматизация; Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы;
ББК: 32.852-06
Библиография: Библиогр.: с. 114-117 (67 назв.)
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 2003600 | кх | Доступна | - |