Автор: Пузырев Владимир Андреевич

Основное заглавие: Управление технологическими процессами производства микроэлектронных приборов

Физический носитель: текст

Год публикации: 1984

Место издания: Москва

Издательство: Радио и связь

Объем: 160 с.

Cерия: Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы; Производство; Автоматизация; Автоматизированные системы управления; Технологические процессы;

ББК: 621.8-02+32.844.15-06

Библиография: Библиогр.: с. 157-159 (68 назв.)