Пресс, Феликс Павлович. 
Фoтoлитoграфия в прoизвoдстве пoлупрoвoдникoвых прибoрoв [текст] / Пресс Феликс Павлович - Москва : Энергия, 1968. - 200 с. : ил. - Библиогр.: с. 191-199.



Автор: Пресс Феликс Павлович

Основное заглавие: Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов

Физический носитель: текст

Год публикации: 1968

Место издания: Москва

Издательство: Энергия

Объем: 200 с.

Ключевые слова: Фотолитография; Полупроводниковые приборы; Производство;

ББК: 32.852-061+621.382

Библиография: Библиогр.: с. 191-199

1411185
Пресс, Феликс Павлович. 
Фoтoлитoграфия в прoизвoдстве пoлупрoвoдникoвых прибoрoв [текст] / Пресс Феликс Павлович - Москва : Энергия, 1968. - 200 с. : ил. - Библиогр.: с. 191-199.
ББК 32.852-061+621.382
1413196-кх; 1411185-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же его копию, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 1413196 кх Доступна -
2 1411185 кх Доступна -