Автор: Пресс Феликс Павлович

Основное заглавие: Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Физический носитель: текст

Год публикации: 1978

Место издания: Москва

Издательство: Советское радио

Объем: 96 с.

Cерия: Массовая библиотека инженера

Ключевые слова: Фотолитография; Полупроводниковые приборы; Производство; Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы;

ББК: 32.852-06

Библиография: Список лит.: с. 92-95 (71 назв.)