Пресс, Феликс Павлович. 
Фoтoлитoграфические метoды в технoлoгии пoлупрoвoдникoвых прибoрoв и интегральных микрoсхем [текст] / Пресс Феликс Павлович - Москва : Советское радио, 1978. - 96 с. : ил. - (Массовая библиотека инженера. Электроника ; 18). - Список лит.: с. 92-95 (71 назв.).



Автор: Пресс Феликс Павлович

Основное заглавие: Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Физический носитель: текст

Год публикации: 1978

Место издания: Москва

Издательство: Советское радио

Объем: 96 с.

Cерия: Массовая библиотека инженера

Ключевые слова: Фотолитография; Полупроводниковые приборы; Производство; Микроэлектронные схемы; Интегральные схемы;

ББК: 32.852-06

Библиография: Список лит.: с. 92-95 (71 назв.)

1860259
Пресс, Феликс Павлович. 
Фoтoлитoграфические метoды в технoлoгии пoлупрoвoдникoвых прибoрoв и интегральных микрoсхем [текст] / Пресс Феликс Павлович - Москва : Советское радио, 1978. - 96 с. : ил. - (Массовая библиотека инженера. Электроника ; 18). - Список лит.: с. 92-95 (71 назв.).
ББК 32.852-06
1860259-кх;
Находится: СОУНБ | Чтобы заказать это издание, а так же копию его фрагмента, вам необходимо авторизоваться на нашем сайте.
№ Инвентарный
номер		 Сигла Статус Дата возврата
1 1860259 кх Доступна -
Х

При использовании данного сайта, вы подтверждаете свое согласие на использование файлов «cookie» и других похожих технологий, а также платформы для связи с клиентами Jivo и сервиса «Яндекс. Метрика», «Яндекс Метрика для приложений» (AppMetrica), которое является частью политики ГБУК «СОУНБ» в отношении обработки персональных данных . Вы всегда можете отключить Cookie-файлы в настройках Вашего браузера