Автор: Плешивцев Николай Васильевич
Основное заглавие: Катодное распыление
Физический носитель: текст
Год публикации: 1968
Место издания: Москва
Издательство: Атомиздат
Объем: 343 с., 8 л. ил.
Ключевые слова: Распыление; Катоды;
ББК: 22.333.32
Библиография: Библиогр.: с. 297-334; Предм. указ.: с. 335-341
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 1411955 | кх | Доступна | - |