Автор: Пичугин Игорь Геннадиевич

Другие авторы: Таиров Юрий Михайлович

Основное заглавие: Технология полупроводниковых приборов

Сведения, относящ. к заглавию: [учебное пособие для вузов по специальности "Полупроводники и диэлектрики", "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы"]

Физический носитель: текст

Год публикации: 1984

Место издания: Москва

Издательство: Высшая школа

Объем: 288 с.

Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Производство

ББК: 621.382(3)+32.852-06я7

Библиография: Библиогр.: с. 287 (15 назв.)