Исследование процесса плазмохимической полимеризации и разработка методов направленного формирования диэлектрических структур — Самарская областная универсальная научная библиотека

Паркин, Анатолий Алексеевич.

Исследование процесса плазмохимической полимеризации и разработка методов направленного формирования диэлектрических структур [текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Паркин Анатолий Алексеевич ; АН УССР, Ин-т кибернетики. - Киев : [б. и.], 1982. - 18 с.

Автор: Паркин Анатолий Алексеевич

Основное заглавие: Исследование процесса плазмохимической полимеризации и разработка методов направленного формирования диэлектрических структур

Сведения, относящ. к заглавию: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Ответственность: АН УССР, Ин-т кибернетики

Физический носитель: текст

Год публикации: 1982

Место издания: Киев

Издательство: [б. и.]

Объем: 18 с.

Ключевые слова: Плазмохимия; Полимеризация; Диэлектрики

ББК: 32.844.15-06