Автор: Паркин Анатолий Алексеевич
Основное заглавие: Исследование процесса плазмохимической полимеризации и разработка методов направленного формирования диэлектрических структур
Сведения, относящ. к заглавию: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
Ответственность: АН УССР, Ин-т кибернетики
Физический носитель: текст
Год публикации: 1982
Место издания: Киев
Издательство: [б. и.]
Объем: 18 с.
Ключевые слова: Плазмохимия; Полимеризация; Диэлектрики;
ББК: 32.844.15-06
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 2011422 | кх | Доступна | - |