Создание управляющих микроприборов физико-химическими методами — Самарская областная универсальная научная библиотека

Ормонт, Борис Филиппович.

Создание управляющих микроприборов физико-химическими методами [текст] : (прецизионные физико-химические процессы в производстве микроэлектронной аппаратуры) / Ормонт Борис Филиппович, Смирнов Вениамин Иванович - Москва : Знание, 1977. - 63 с. : ил. - (Новое в жизни, науке, технике. Химия ; № 4). - Список лит.: с. 61 (6 назв.).

Автор: Ормонт Борис Филиппович

Другие авторы: Смирнов Вениамин Иванович

Основное заглавие: Создание управляющих микроприборов физико-химическими методами

Сведения, относящ. к заглавию: (прецизионные физико-химические процессы в производстве микроэлектронной аппаратуры)

Физический носитель: текст

Год публикации: 1977

Место издания: Москва

Издательство: Знание

Объем: 63 с.

Серия: Новое в жизни, науке, технике

Ключевые слова: Микроэлектроника; Физико-химические основы

ББК: 32.844.1

Библиография: Список лит.: с. 61 (6 назв.)