Автор: Панкратьев Евгений Михайлович

Другие авторы: Рюмин Василий Петрович; Щелкина Нина Павловна

Основное заглавие: Технология полупроводниковых слоев двуокиси олова

Физический носитель: текст

Год публикации: 1969

Место издания: Москва

Издательство: Энергия

Объем: 56 с.

Примечание: Перед загл. авт.: Панкратьев Е. М., Рюмин В. П., Щелкина Н. П.

Ключевые слова: Тонкие пленки; Нанесение на подложку; Олово; Двуокиси; Применение; Покрытия;

ББК: 34.663.232

Библиография: Библиогр.: с. 54-55 (33 назв.)