Основное заглавие: Новые технологические процессы и материалы

Сведения, относящ. к заглавию: [сборник трудов]

Ответственность: под общ. ред. А. Н. Гаврилова ; Науч.-техн. совет М-ва приборостроения, средств автоматизации и систем упр. СССР, Науч.-техн. совет М-ва высш. и сред. спец. образования СССР, Отд-ние механики и процессов упр. АН СССР, Всесоюз. н.-и. технол. ин-т приборостроения МНПО "Темп"

Физический носитель: текст

Год публикации: 1979

Место издания: Москва

Издательство: Машиностроение

Объем: 171 с.

Cерия: Труды постоянно действующего семинара "Современная технология производства приборов, средств автоматизации и систем управления"

Ключевые слова: Микроэлектронные схемы; Производство; Полупроводниковые приборы;

ББК: 32.844.1-06+32.852-06+621.382.8(?)

Библиография: Библиогр. в конце работ