Автор: Полянский А. М.
Основное заглавие: Автоэпитаксиальные пленки кремния для полупроводниковых приборов и интегральных схем
Сведения, относящ. к заглавию: по материалам отечественной и зарубежной печати за 1960-1971 г.
Физический носитель: текст
Год публикации: 1972
Место издания: Москва
Издательство: Электроника
Объем: 38 с.
Cерия: Обзоры по электронной технике
Ключевые слова: Полупроводниковые приборы; Интегральные схемы; Пленки;
ББК: 32.843,3-06
№ | Инвентарный номер |
Сигла | Статус | Дата возврата |
---|---|---|---|---|
1 | 1589944 | кх | Доступна | - |